ফটোলিথোগ্রাফি মেশিনের ধরন এবং প্রধান ASML মডেলগুলির পরিচিতি

লিথোগ্রাফি মেশিনের প্রকারগুলি প্রধানত আই-লাইন, কেআরএফ, এআরএফ শুষ্ক পদ্ধতি, এআরএফ নিমজ্জন প্রকার এবং ইইউভিতে বিভক্ত। তাদের মধ্যে, EUV সবচেয়ে উন্নত ধরনের। ASML-এর প্রধান মডেলগুলির মধ্যে রয়েছে: I-line XP 400/450 সিরিজ, 300 ~ 500nm প্রক্রিয়ার সাথে সম্পর্কিত, 180 ~ 130nm এআরএফ শুষ্ক প্রক্রিয়ার সাথে সম্পর্কিত, প্রক্রিয়াটির সাথে সম্পর্কিত; প্রায় 0~65nm; ArF নিমজ্জিত XT1900 এবং NXT সিরিজ, NXT1950/1965/1970/1980 এবং NXT2000/2050/2100 সহ, 45nm-এর নীচের প্রক্রিয়াগুলির সাথে সামঞ্জস্যপূর্ণ। EUV এর প্রধান মডেল হল NXE3400/3600, যা 7nm এর নিচের সাথে মিলে যায়।