مقدمة لأنواع آلات الطباعة الحجرية الضوئية ونماذج ASML الرئيسية

تنقسم أنواع آلات الطباعة الحجرية بشكل أساسي إلى طريقة I-line وKrF وArF الجافة ونوع الغمر ArF وEUV. من بينها، EUV هو النوع الأكثر تقدمًا. تشمل نماذج ASML الرئيسية ما يلي: I-line XP سلسلة 400/450، المقابلة لعملية 300~500 نانومتر؛ KrF's XT860/1060، المقابلة لعملية 180~130 نانومتر؛ عملية ArF الجافة XT1400/1460/1700، المقابلة لعقدة العملية 13 حوالي 0 ~ 65 نانومتر؛ سلسلة XT1900 وNXT المغمورة بـ ArF، بما في ذلك NXT1950/1965/1970/1980 وNXT2000/2050/2100، تتوافق مع العمليات التي تقل عن 45 نانومتر. النموذج الرئيسي لـ EUV هو NXE3400/3600، والذي يتوافق مع أقل من 7 نانومتر.