مقدمه ای بر انواع دستگاه فوتولیتوگرافی و مدل های اصلی ASML

انواع ماشین های لیتوگرافی به طور عمده به I-line، KrF، روش خشک ArF، نوع غوطه وری ArF و EUV تقسیم می شوند. در میان آنها، EUV پیشرفته ترین نوع است. مدل های اصلی ASML عبارتند از: I-line XP سری 400/450، مربوط به فرآیند 300 ~ 500 نانومتر XT860/1060، مربوط به فرآیند خشک 180 ~ 130 نانومتر، مربوط به گره فرآیند 13؛ حدود 0 ~ 65 نانومتر؛ سری های XT1900 و NXT غوطه ور شده، از جمله NXT1950/1965/1970/1980 و NXT2000/2050/2100، مربوط به فرآیندهای زیر 45 نانومتر هستند. مدل اصلی EUV NXE3400/3600 است که مربوط به زیر 7 نانومتر است.