ASML, yeni nesil Hyper-NA EUV litografi makinesi için teknoloji planını duyurdu

ASML, şu anda geliştirme aşamasında olan yeni nesil Hyper-NA EUV litografi makinesinin teknik planını duyurdu. Şirketin eski baş teknoloji sorumlusu Martin van den Brink, Hyper-NA EUV litografi makinesinin ışık kaynağı sistemini iyileştirmesi ve üretim verimliliğini saatte 400 ila 500 levhaya çıkarması gerektiğini söyledi.