ASML анансуе тэхналагічны план літаграфічнай машыны Hyper-NA EUV наступнага пакалення

Кампанія ASML абвясціла аб тэхнічным плане новага пакалення літаграфічнай машыны Hyper-NA EUV, якая зараз знаходзіцца на ранніх стадыях распрацоўкі. Марцін ван дэн Брынк, былы дырэктар па тэхналогіях кампаніі, сказаў, што машына для літаграфіі Hyper-NA EUV павінна палепшыць сістэму крыніцы святла і павялічыць эфектыўнасць вытворчасці да 400-500 пласцін у гадзіну.