ASML yeni nəsil Hyper-NA EUV litoqrafiya maşını üçün texnologiya planını elan edir

ASML, hazırda inkişafın ilkin mərhələsində olan Hyper-NA EUV litoqrafiya maşınının yeni nəslinin texniki planını açıqladı. Şirkətin keçmiş baş texnologiya direktoru Martin van den Brink bildirib ki, Hyper-NA EUV litoqrafiya maşını işıq mənbəyi sistemini təkmilləşdirməli və istehsalın səmərəliliyini saatda 400-dən 500-ə qədər vafli artırmalıdır.