A Samsung azt tervezi, hogy a dél-koreai Hwaseongban telepíti első High-NA EUV-jét, amelyet várhatóan 2025 közepén helyeznek üzembe.

A jelentések szerint a Samsung 2024 negyedik negyedévétől 2025 első negyedévéig kezdi meg az első High-NA EUV telepítését a dél-koreai Hwaseong Parkban. 2025 közepén kerül forgalomba, és először a 2 nm alatti logikai folyamatok és a fejlett DRAM chip folyamatok fejlesztésére fogják használni. A Samsung a Lasertec, a JSR, a Tokyo Electron és a Synopsys vállalatokkal is együttműködni tervez egy High-NA EUV ökoszisztéma felépítésében.