Samsung planira instalirati svoj prvi High-NA EUV u Hwaseongu u Južnoj Koreji, za koji se očekuje da će biti pušten u upotrebu sredinom 2025.

Prijavljeno je da će Samsung započeti instalirati prvi High-NA EUV u svom parku Hwaseong u Južnoj Koreji od četvrtog kvartala 2024. do prvog kvartala 2025. Očekuje se da će biti pušten u upotrebu sredinom 2025. i prvo će se koristiti za razvoj logičkih procesa ispod 2 nm i naprednih procesa DRAM čipova. Samsung također planira suradnju s Lasertecom, JSR-om, Tokyo Electronom i Synopsysom na izgradnji High-NA EUV ekosustava.