サムスンがレーザーテックの高NA EUVマスク検査装置を購入

サムスンは、レーザーテックの高NA EUVマスク検査ツールであるActis A300を購入したと報じられている。高NA EUV専用ツールを使用して半導体マスクを検査すると、従来のEUV専用ツールと比較してコントラストが30％以上向上します。