삼성, 레이저텍의 고NA EUV 마스크 검사장비 인수

삼성이 고NA EUV 마스크 검사 장비인 레이저텍의 액티스 A300을 인수한 것으로 전해졌습니다. 고NA EUV 전용 툴을 사용하여 반도체 마스크를 검사하면 기존 EUV 전용 툴에 비해 대비를 30% 이상 향상시킬 수 있습니다.