Samsung Lasertec-ийн High-NA EUV маск шалгах хэрэгслийг худалдаж авлаа

2024-08-17 22:01
 282
Самсунг компани Lasertec-ийн Actis A300-ийг худалдаж авсан бөгөөд энэ нь өндөр NA-EUV маск шалгах хэрэгсэл юм. Өндөр NA EUV зориулалтын багаж ашиглан хагас дамжуулагч маскуудыг шалгах нь уламжлалт EUV зориулалтын багажтай харьцуулахад тодосгогчийг 30%-иар сайжруулдаг.