Samsung erwirbt Lasertecs High-NA EUV-Maskeninspektionstool

Berichten zufolge hat Samsung den Actis A300 von Lasertec gekauft, ein High-NA-EUV-Maskeninspektionstool. Die Überprüfung von Halbleitermasken mit speziellen EUV-Werkzeugen mit hoher NA kann den Kontrast im Vergleich zu herkömmlichen speziellen EUV-Werkzeugen um mehr als 30 % verbessern.