Samsung achète l'outil d'inspection de masque High-NA EUV de Lasertec

Selon certaines informations, Samsung aurait acheté l'Actis A300 de Lasertec, un outil d'inspection de masque EUV High-NA. L'inspection des masques semi-conducteurs à l'aide d'outils dédiés EUV High-NA peut améliorer le contraste de plus de 30 % par rapport aux outils dédiés EUV traditionnels.