Samsung adquire ferramenta de inspeção de máscaras EUV High-NA da Lasertec

A Samsung teria adquirido o Actis A300 da Lasertec, uma ferramenta de inspeção de máscaras EUV de alta NA. A inspeção de máscaras semicondutoras usando ferramentas dedicadas EUV de alta NA pode melhorar o contraste em mais de 30% em comparação com ferramentas dedicadas EUV tradicionais.