Samsung ostaa Lasertecin High-NA EUV -maskin tarkastustyökalun

Samsungin kerrotaan ostaneen Lasertecin Actis A300:n, korkean NA:n EUV-maskitarkastustyökalun. Puolijohdemaskien tarkastaminen käyttämällä korkean NA:n EUV:lle omistettuja työkaluja voi parantaa kontrastia yli 30 % verrattuna perinteisiin EUV-käyttöön tarkoitettuihin työkaluihin.