Samsung køber Lasertecs High-NA EUV maske inspektionsværktøj

Samsung har angiveligt købt Lasertecs High-NA EUV maskeinspektionsværktøj Actis A300. Inspicering af halvledermasker ved hjælp af High-NA EUV dedikerede værktøjer kan forbedre kontrasten med mere end 30 % sammenlignet med traditionelle EUV dedikerede værktøjer.