Samsung koopt Lasertec's High-NA EUV-maskerinspectietool

Samsung heeft naar verluidt de Actis A300 van Lasertec gekocht, een High-NA EUV-maskerinspectietool. Door halfgeleidermaskers te inspecteren met High-NA EUV-instrumenten kan het contrast met meer dan 30% worden verbeterd in vergelijking met traditionele EUV-instrumenten.