Samsung kaupir Lasertec High-NA EUV grímuskoðunartæki

Samsung hefur að sögn keypt High-NA EUV grímuskoðunartæki Lasertec Actis A300. Að skoða hálfleiðaragrímur með því að nota High-NA EUV holl verkfæri getur bætt birtuskil um meira en 30% samanborið við hefðbundin EUV holl verkfæri.