Samsung köper Lasertecs High-NA EUV-maskinspektionsverktyg

Samsung har enligt uppgift köpt Lasertecs Actis A300, ett High-NA EUV-maskinspektionsverktyg. Inspektering av halvledarmasker med hjälp av High-NA EUV dedikerade verktyg kan förbättra kontrasten med mer än 30 % jämfört med traditionella EUV dedikerade verktyg.