Samsung adquiere la herramienta de inspección de máscaras EUV High-NA de Lasertec

Según se informa, Samsung ha adquirido Actis A300 de Lasertec, una herramienta de inspección de máscara EUV de alta NA. La inspección de máscaras de semiconductores con herramientas dedicadas EUV de alta NA puede mejorar el contraste en más del 30 % en comparación con las herramientas dedicadas EUV tradicionales.