Samsung acquista lo strumento di ispezione della maschera EUV High-NA di Lasertec

Secondo quanto riferito, Samsung ha acquistato Actis A300 di Lasertec, uno strumento di ispezione delle maschere EUV ad alto NA. L'ispezione delle maschere dei semiconduttori mediante strumenti dedicati EUV ad alto NA può migliorare il contrasto di oltre il 30% rispetto ai tradizionali strumenti dedicati EUV.