Samsung kaaft Lasertec's High-NA EUV Mask Inspektiounsinstrument

Samsung huet gemellt Lasertec's Actis A300 kaaft, en High-NA EUV Mask Inspektiounsinstrument. Inspektioun vun Hallefleitmasken mat High-NA EUV dedizéierten Tools kann de Kontrast ëm méi wéi 30% verbesseren am Verglach mat traditionellen EUV dedizéierten Tools.