Ceannaíonn Samsung uirlis iniúchta masc EUV High-NA de chuid Lasertec

Deirtear gur cheannaigh Samsung uirlis iniúchta masc Ard-NA EUV Lasertec Actis A300. Is féidir feabhas a chur ar chodarsnacht níos mó ná 30% i gcomparáid le huirlisí tiomnaithe traidisiúnta EUV trí iniúchadh a dhéanamh ar mhaiscí leathsheoltóra ag baint úsáide as uirlisí tiomnaithe Ard-NA EUV.