Η Samsung αγοράζει το εργαλείο επιθεώρησης μάσκας High-NA EUV της Lasertec

Η Samsung φέρεται να αγόρασε το Actis A300 της Lasertec, ένα εργαλείο επιθεώρησης μάσκας High-NA EUV. Η επιθεώρηση μασκών ημιαγωγών χρησιμοποιώντας ειδικά εργαλεία High-NA EUV μπορεί να βελτιώσει την αντίθεση κατά περισσότερο από 30% σε σύγκριση με τα παραδοσιακά ειδικά εργαλεία EUV.