Samsung kjøper Lasertecs High-NA EUV-maskeinspeksjonsverktøy

Samsung har angivelig kjøpt Lasertecs Actis A300, et High-NA EUV-maskeinspeksjonsverktøy. Inspeksjon av halvledermasker ved hjelp av High-NA EUV dedikerte verktøy kan forbedre kontrasten med mer enn 30 % sammenlignet med tradisjonelle EUV dedikerte verktøy.