Samsung закупува инструмента за инспекция на High-NA EUV маска на Lasertec

Съобщава се, че Samsung е закупил Actis A300 на Lasertec, High-NA EUV маска инструмент за проверка. Проверката на полупроводникови маски с помощта на High-NA EUV специални инструменти може да подобри контраста с повече от 30% в сравнение с традиционните EUV специални инструменти.