Samsung kupuje narzędzie do inspekcji masek High-NA EUV firmy Lasertec

Według doniesień firma Samsung zakupiła narzędzie do inspekcji masek High-NA EUV Actis A300 firmy Lasertec. Badanie masek półprzewodnikowych przy użyciu specjalistycznych narzędzi EUV o wysokiej rozdzielczości może poprawić kontrast o ponad 30% w porównaniu z tradycyjnymi narzędziami EUV.