Samsung kupuje nástroj na kontrolu masiek High-NA EUV od Lasertec

Spoločnosť Samsung údajne zakúpila Actis A300 od Lasertec, nástroj na kontrolu masky s vysokým NAD EUV. Kontrola polovodičových masiek pomocou špecializovaných nástrojov High-NA EUV môže zlepšiť kontrast o viac ako 30 % v porovnaní s tradičnými nástrojmi určenými pre EUV.