Samsung kupuje Lasertecov High-NA EUV alat za pregled maske

Samsung je navodno kupio Lasertecov High-NA EUV alat za pregled maski Actis A300. Provjera poluvodičkih maski korištenjem High-NA EUV namjenskih alata može poboljšati kontrast za više od 30% u usporedbi s tradicionalnim EUV namjenskim alatima.