Samsung ซื้อเครื่องมือตรวจสอบหน้ากาก EUV ระดับสูงของ Lasertec

มีรายงานว่า Samsung ได้ซื้อ Actis A300 ของ Lasertec ซึ่งเป็นเครื่องมือตรวจสอบหน้ากาก EUV ระดับ High-NA การตรวจสอบหน้ากากเซมิคอนดักเตอร์โดยใช้เครื่องมือเฉพาะ EUV ระดับ High-NA สามารถปรับปรุงคอนทราสต์ได้มากกว่า 30% เมื่อเปรียบเทียบกับเครื่องมือเฉพาะ EUV แบบดั้งเดิม