Samsung ຊື້ເຄື່ອງມືກວດກາໜ້າກາກ High-NA EUV ຂອງ Lasertec

ລາຍງານວ່າ Samsung ໄດ້ຊື້ Actis A300 ຂອງ Lasertec, ເຄື່ອງມືກວດກາຫນ້າກາກ High-NA EUV. ການກວດສອບຫນ້າກາກ semiconductor ໂດຍໃຊ້ເຄື່ອງມືທີ່ອຸທິດຕົນ High-NA EUV ສາມາດປັບປຸງຄວາມຄົມຊັດໄດ້ຫຼາຍກວ່າ 30% ເມື່ອທຽບກັບເຄື່ອງມືທີ່ອຸທິດຕົນຂອງ EUV ແບບດັ້ງເດີມ.