Samsung membeli alat inspeksi masker EUV High-NA Lasertec

Samsung dikabarkan telah membeli Actis A300 buatan Lasertec, alat inspeksi masker EUV dengan NA Tinggi. Memeriksa masker semikonduktor menggunakan alat khusus EUV High-NA dapat meningkatkan kontras lebih dari 30% dibandingkan dengan alat khusus EUV tradisional.