سامسونگ ابزار بازرسی ماسک High-NA EUV Lasertec را خریداری می کند

282
طبق گزارش ها، سامسونگ ابزار بازرسی ماسک High-NA EUV Lasertec Actis A300 را خریداری کرده است. بررسی ماسک های نیمه هادی با استفاده از ابزارهای اختصاصی High-NA EUV می تواند کنتراست را بیش از 30 درصد در مقایسه با ابزارهای اختصاصی EUV سنتی بهبود بخشد.