O equipamento EUV de alta NA é caro e grande

Equipamentos EUV de alta NA são mais caros, custando entre US$ 380 milhões e US$ 400 milhões, e seu alcance de imagem é reduzido pela metade, o que exigirá grandes mudanças no design do chip. Além disso, o tamanho maior dos sistemas EUV de alta NA em comparação aos sistemas de baixa NA significa que os fabricantes de chips precisarão repensar o layout de suas fábricas para acomodar esses novos equipamentos.