Korkean NA:n EUV-laitteet ovat kalliita ja suuria

High-NA EUV-laitteet ovat kalliimpia ja maksavat 380–400 miljoonaa dollaria, ja sen kuvantamisalue on puolittunut, mikä vaatii suuria muutoksia sirusuunnitteluun. Lisäksi High-NA EUV -järjestelmien suurempi koko Low-NA-järjestelmiin verrattuna tarkoittaa, että sirujen valmistajien on harkittava uudelleen upeaa ulkoasuaan näiden uusien laitteiden mukauttamiseksi.