High-NA EUV udstyr er dyrt og stort

High-NA EUV-udstyr er dyrere og koster mellem $380 millioner og $400 millioner, og dets billedudvalg er halveret, hvilket vil kræve store ændringer af chipdesign. Derudover betyder den større størrelse af High-NA EUV-systemer sammenlignet med Low-NA-systemer, at chipproducenter bliver nødt til at genoverveje deres fantastiske layout for at kunne rumme dette nye udstyr.