EUV-apparatuur met een hoge NA is duur en groot

EUV-apparatuur met een hoge NA is duurder en kost tussen de 380 en 400 miljoen dollar. Bovendien is het beeldvormingsbereik gehalveerd, wat grote veranderingen in het chipontwerp vereist. Bovendien moeten chipmakers hun productieomgeving opnieuw inrichten om ruimte te maken voor deze nieuwe apparatuur, omdat High-NA EUV-systemen groter zijn dan Low-NA-systemen.