High-NA EUV búnaður er dýr og stór

High-NA EUV búnaður er dýrari, kostar á bilinu 380 milljónir til 400 milljónir dollara og myndasvið hans er helmingað, sem mun krefjast mikilla breytinga á hönnun flísanna. Að auki þýðir stærri stærð High-NA EUV kerfa samanborið við Low-NA kerfi þýðir að flísaframleiðendur þurfa að endurskoða frábæra skipulag sitt til að koma til móts við þennan nýja búnað.