EUV-utrustning med hög NA är dyr och stor

High-NA EUV-utrustning är dyrare och kostar mellan 380 miljoner och 400 miljoner dollar, och dess bildutbud är halverat, vilket kommer att kräva stora förändringar av chipdesignen. Dessutom innebär den större storleken på High-NA EUV-system jämfört med Low-NA-system att chiptillverkarna måste ompröva sin fantastiska layout för att rymma denna nya utrustning.