Оборудование High-NA EUV является дорогостоящим и громоздким

Оборудование High-NA EUV стоит дороже — от 380 до 400 миллионов долларов, а его диапазон формирования изображений сокращается вдвое, что потребует серьезных изменений в конструкции чипа. Кроме того, больший размер систем EUV с высокой числовой апертурой по сравнению с системами с низкой числовой апертурой означает, что производителям микросхем придется пересмотреть компоновку своих производственных мощностей для размещения этого нового оборудования.