Yüksek NA EUV ekipmanı pahalı ve büyüktür

Yüksek NA EUV ekipmanları daha pahalıdır; maliyeti 380 milyon ila 400 milyon dolar arasındadır ve görüntüleme aralığı yarı yarıya azalır; bu da çip tasarımında büyük değişiklikler yapılmasını gerektirecektir. Ayrıca, Yüksek-NA EUV sistemlerinin Düşük-NA sistemlerine kıyasla daha büyük olması, çip üreticilerinin bu yeni ekipmanlara uyum sağlamak için fabrika düzenlerini yeniden düşünmeleri gerekeceği anlamına geliyor.