High-NA EUV oprema je skupa i velika

High-NA EUV oprema je skuplja, košta između 380 i 400 milijuna dolara, a njen raspon snimanja je prepolovljen, što će zahtijevati velike promjene u dizajnu čipa. Osim toga, veća veličina High-NA EUV sustava u usporedbi s Low-NA sustavima znači da će proizvođači čipova morati ponovno razmisliti o svom fab rasporedu kako bi se prilagodili ovoj novoj opremi.