Kõrge NA-ga EUV seadmed on kallid ja suured

Kõrge NA-ga EUV seadmed on kallimad, maksavad 380–400 miljonit dollarit, ja nende pildistamisulatus on poole väiksem, mis nõuab suuri muudatusi kiibi disainis. Lisaks tähendab High-NA EUV süsteemide suurem suurus võrreldes Low-NA süsteemidega, et kiibitootjad peavad oma suurepärase paigutuse ümber mõtlema, et neid uusi seadmeid kasutada.