Pajisjet EUV me NA të lartë janë të shtrenjta dhe të mëdha

Pajisjet EUV të lartë NA janë më të shtrenjta, kushtojnë midis 380 dhe 400 milionë dollarë dhe diapazoni i imazhit të tyre është përgjysmuar, gjë që do të kërkojë ndryshime të mëdha në dizajnin e çipit. Për më tepër, madhësia më e madhe e sistemeve High-NA EUV krahasuar me sistemet Low-NA do të thotë që prodhuesit e çipave do të duhet të rimendojnë strukturën e tyre fantastike për të akomoduar këto pajisje të reja.