High-NA EUV စက်ပစ္စည်းများသည် ဈေးကြီးပြီး ကြီးမားသည်။

High-NA EUV စက်ပစ္စည်းများသည် ဒေါ်လာ သန်း ၃၈၀ မှ သန်း ၄၀၀ ကြား ကုန်ကျပြီး ၎င်း၏ ပုံရိပ်ဖော်မှုအပိုင်းကို ထက်ဝက်လျှော့ချကာ ချစ်ပ်ဒီဇိုင်းအတွက် ကြီးမားသောပြောင်းလဲမှုများ လိုအပ်မည်ဖြစ်သည်။ ထို့အပြင်၊ Low-NA စနစ်များနှင့် နှိုင်းယှဉ်ပါက High-NA EUV စနစ်များ၏ ပိုကြီးသော အရွယ်အစားသည် chipmaker များသည် ဤစက်ပစ္စည်းအသစ်များကို လိုက်လျောညီထွေဖြစ်စေရန်အတွက် ၎င်းတို့၏ စိတ်ကူးယဉ်ပုံစံကို ပြန်လည်စဉ်းစားရန် လိုအပ်မည်ဖြစ်သည်။