उच्च-एनए ईयूवी उपकरण महंगे और बड़े हैं

उच्च-एनए ईयूवी उपकरण अधिक महंगे हैं, जिनकी लागत 380 मिलियन डॉलर से 400 मिलियन डॉलर के बीच है, तथा इसकी इमेजिंग रेंज आधी है, जिसके लिए चिप डिजाइन में बड़े बदलाव की आवश्यकता होगी। इसके अतिरिक्त, निम्न-एनए प्रणालियों की तुलना में उच्च-एनए ईयूवी प्रणालियों के बड़े आकार का अर्थ है कि चिप निर्माताओं को इन नए उपकरणों को समायोजित करने के लिए अपने फैब लेआउट पर पुनर्विचार करना होगा।