تعتبر معدات EUV ذات NA العالي باهظة الثمن وكبيرة الحجم

تعتبر معدات EUV ذات NA العالي أكثر تكلفة، حيث تتراوح تكلفتها بين 380 مليون دولار و400 مليون دولار، كما تم تقليص نطاق التصوير الخاص بها إلى النصف، مما سيتطلب إجراء تغييرات كبيرة في تصميم الشريحة. بالإضافة إلى ذلك، فإن الحجم الأكبر لأنظمة EUV ذات NA العالي مقارنة بأنظمة NA المنخفض يعني أن مصنعي الرقائق سيحتاجون إلى إعادة التفكير في تخطيط مصنعهم لاستيعاب هذه الأجهزة الجديدة.