تجهیزات High-NA EUV گران و بزرگ هستند

تجهیزات High-NA EUV گران تر هستند و بین 380 تا 400 میلیون دلار هزینه دارند و محدوده تصویربرداری آن به نصف کاهش یافته است که نیاز به تغییرات اساسی در طراحی تراشه دارد. علاوه بر این، اندازه بزرگ‌تر سیستم‌های High-NA EUV در مقایسه با سیستم‌های Low-NA به این معنی است که سازندگان تراشه باید در طرح‌بندی عالی خود تجدیدنظر کنند تا این تجهیزات جدید را در خود جای دهند.