ציוד High-NA EUV יקר וגדול
2024-08-12 17:15
20
ציוד High-NA EUV יקר יותר, ועולה בין 380 ל-400 מיליון דולר, וטווח ההדמיה שלו מצטמצם בחצי, מה שידרוש שינויים גדולים בעיצוב השבבים. בנוסף, הגודל הגדול יותר של מערכות High-NA EUV בהשוואה למערכות Low-NA אומר שיצרניות השבבים יצטרכו לחשוב מחדש על הפריסה המפוארת שלהן כדי להכיל את הציוד החדש הזה.
