Yüksək NA EUV avadanlığı bahalı və böyükdür

Yüksək NA EUV avadanlığı daha bahalıdır, qiyməti 380 milyon dollardan 400 milyon dollara qədərdir və onun təsvir diapazonu yarıya endirilib ki, bu da çip dizaynında əsaslı dəyişikliklər tələb edəcək. Bundan əlavə, Low-NA sistemləri ilə müqayisədə High-NA EUV sistemlərinin daha böyük ölçüləri o deməkdir ki, çip istehsalçıları bu yeni avadanlığı yerləşdirmək üçün öz fab planlarını yenidən nəzərdən keçirməli olacaqlar.